桌面臺式電鏡是一種體積小巧、操作簡便的電子顯微成像設(shè)備,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物、地質(zhì)、電子元器件及教學(xué)科研等領(lǐng)域。相比傳統(tǒng)大型電鏡,
桌面臺式電鏡無需復(fù)雜的真空系統(tǒng)和專業(yè)操作環(huán)境,可在普通實驗室中實現(xiàn)納米級表面形貌觀察。其性能雖略低于某些電鏡,但憑借高性價比和易用性,已成為科研與質(zhì)檢的得力工具。整機由多個核心部件協(xié)同工作,各具不同功能與技術(shù)特點。

1、電子光學(xué)系統(tǒng)
核心部件包括電子槍和電磁透鏡。電子槍通常采用鎢燈絲或場發(fā)射(部分型號)作為電子源,發(fā)射電子束。臺式電鏡多使用低真空或環(huán)境模式,電子槍結(jié)構(gòu)簡化,壽命較長。電磁透鏡(物鏡、聚光鏡)用于聚焦電子束,控制束斑大小,影響分辨率(通??蛇_(dá)10-30nm)。
2、真空系統(tǒng)
臺式電鏡配備小型化無油真空泵(如渦旋泵或膜片泵),可在5-10分鐘內(nèi)將樣品室抽至工作真空(10-50Pa),無需液氮或復(fù)雜維護(hù)。部分型號支持低真空模式,可直接觀察非導(dǎo)電樣品,減少噴金處理。
3、樣品室與載物臺
樣品室為密封腔體,體積小,便于快速抽真空。內(nèi)置手動或電動三維載物臺,可精確調(diào)節(jié)樣品X、Y、Z方向位置,部分型號支持傾斜或旋轉(zhuǎn),便于多角度觀察。載物臺行程通常為幾厘米,滿足常規(guī)樣品掃描需求。
4、探測器系統(tǒng)
用于收集電子信號并轉(zhuǎn)換為圖像。主要探測器包括:
二次電子探測器(SED):捕捉樣品表面發(fā)射的二次電子,提供高分辨率表面形貌圖像,是主要成像模式。
背散射電子探測器(BSED):檢測高能背散射電子,對原子序數(shù)敏感,可區(qū)分材料成分差異。
部分型號集成能譜儀(EDS),實現(xiàn)微區(qū)元素分析,提升檢測功能。
5、圖像采集與控制系統(tǒng)
通過計算機或觸摸屏控制電鏡運行。軟件界面直觀,可實時調(diào)節(jié)加速電壓(通常5-30kV)、束流、工作距離、對比度與亮度。圖像可即時保存、標(biāo)注、測量(如粒徑、距離),支持多種格式導(dǎo)出。
6、冷卻與電源系統(tǒng)
采用風(fēng)冷或自然散熱設(shè)計,無需外接冷卻水。電源集成于主機,使用普通220V交流電,安裝便捷。
7、安全防護(hù)裝置
配備電磁屏蔽、高壓聯(lián)鎖和緊急停機功能,確保操作安全。艙門關(guān)閉后自動鎖定,防止輻射泄漏。