第九屆國(guó)際碳材料大會(huì)，上海新國(guó)際博覽中心N1、N2，2個(gè)展館人頭攢動(dòng)。在精密制造和新能源材料展區(qū)，一臺(tái)臺(tái)看似不起眼的灰色儀器吸引了許多專業(yè)觀眾的目光——它們是氣體質(zhì)量流量計(jì)。

碳材料產(chǎn)業(yè)鏈的精密制造，從金剛石薄膜沉積到硅碳負(fù)極材料制備，精確的氣體流量控制直接影響著最終產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。

一 開(kāi)幕盛況

第九屆國(guó)際碳材料大會(huì)暨產(chǎn)業(yè)展覽會(huì)于2025年12月9日在上海新國(guó)際博覽中心拉開(kāi)帷幕，大會(huì)以“材料創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)產(chǎn)業(yè)變革"為主題，預(yù)計(jì)將吸引超過(guò)50000名專業(yè)觀眾。

由DT新材料和中國(guó)超硬材料網(wǎng)聯(lián)合主辦。

展館分為N1半導(dǎo)體碳材料館、N2能源與裝備碳材料館，聚焦碳材料從基礎(chǔ)研究到產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的全鏈條展示。

現(xiàn)場(chǎng)近400家展商中，不乏像愛(ài)拓利電子這樣專注于為精密制造提供關(guān)鍵測(cè)量與控制技術(shù)的企業(yè)。

二 碳材料制造的“氣體脈搏"

在碳材料產(chǎn)業(yè)鏈中，無(wú)論是CVD金剛石生長(zhǎng)還是硅碳負(fù)極材料的制備，氣體流量控制都是核心工藝環(huán)節(jié)。

化學(xué)氣相沉積（CVD）是制造高品質(zhì)金剛石薄膜的關(guān)鍵技術(shù)，而其中甲烷等氣源流量的精確控制直接影響金剛石膜的結(jié)晶質(zhì)量和純度。

同樣在新能源領(lǐng)域，硅碳負(fù)極材料制備過(guò)程中，硅烷、乙炔等工藝氣體的精確配比與動(dòng)態(tài)控制也至關(guān)重要。

本屆展會(huì)上，氣體流量智能控制系統(tǒng)成為多個(gè)展商重點(diǎn)展示的技術(shù)方向之一。這類(lèi)系統(tǒng)通過(guò)精準(zhǔn)控制氣體流量，保障碳制品工藝過(guò)程的一致性和穩(wěn)定性。

三 愛(ài)拓利的技術(shù)實(shí)力

在氣體流量控制領(lǐng)域，愛(ài)拓利展示了其從MFC300、MFC330，MFC350到MFC600等多個(gè)系列的氣體質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品。

以專為微小流量場(chǎng)景設(shè)計(jì)的MFC300系列為例，它采用MEMS流量傳感器，并自帶溫度和壓力補(bǔ)償功能。其測(cè)量準(zhǔn)確度可達(dá)±0.5%F.S.，而傳感器響應(yīng)時(shí)間僅為5毫秒。

愛(ài)拓利流量計(jì)的核心優(yōu)勢(shì)在于其高精度與高穩(wěn)定性。以MFC600系列為例，準(zhǔn)確度可達(dá)±0.2%F.S.，線性度為±0.1%F.S.，重復(fù)精度更是達(dá)到±0.05%F.S.。

這種高精度特性在動(dòng)態(tài)氣體配氣過(guò)程中至關(guān)重要，可以確保各組分流量的精確控制，從而保證最終混合氣體濃度的準(zhǔn)確性。

四 現(xiàn)場(chǎng)焦點(diǎn)應(yīng)用

在半導(dǎo)體材料展區(qū)，愛(ài)拓利展示了其氣體流量計(jì)在擴(kuò)散工藝中的應(yīng)用案例。在半導(dǎo)體和光伏制造業(yè)中，擴(kuò)散爐是核心設(shè)備之一，用于實(shí)現(xiàn)精確的摻雜和薄膜生長(zhǎng)。

愛(ài)拓利氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器通過(guò)對(duì)工藝氣體的精準(zhǔn)測(cè)量與控制，直接決定了擴(kuò)散工藝的成敗與產(chǎn)品的最終性能。

例如，MFC330系列可提供低至0-5 SCCM的微小流量規(guī)格，確保摻雜劑濃度和分布滿足嚴(yán)苛的工藝要求。

在新能源材料制備區(qū)域，愛(ài)拓利展示了針對(duì)硅碳負(fù)極材料制備的解決方案。硅碳負(fù)極制備中需要處理硅烷(SiH?)、乙炔(C?H?)等高風(fēng)險(xiǎn)工藝氣體，這對(duì)氣體流量計(jì)提出了特殊要求。

五 行業(yè)趨勢(shì)與未來(lái)展望

氣體流量控制在碳材料產(chǎn)業(yè)鏈的重要性日益凸顯。隨著工業(yè)過(guò)程對(duì)氣體混合物精度要求的不斷提高，氣體流量計(jì)技術(shù)也在持續(xù)進(jìn)步。

未來(lái)趨勢(shì)顯示，智能流量計(jì)將能夠?qū)崿F(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控、預(yù)測(cè)性維護(hù)和自適應(yīng)控制，進(jìn)一步提升動(dòng)態(tài)氣體配氣儀的智能化水平。

愛(ài)拓利流量計(jì)系列產(chǎn)品提供多種通信接口，包括模擬信號(hào)、RS232、RS485、RS422和CAN總線，便于與主控系統(tǒng)集成，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控和自動(dòng)化控制，這些功能契合了未來(lái)智能化發(fā)展趨勢(shì)。

碳材料大會(huì)同期還將舉辦2025金剛石年會(huì)、碳纖維裝備制造大會(huì)、新能源碳材料與電池大會(huì)等應(yīng)用端會(huì)議，深入探討碳材料在半導(dǎo)體、新能源、裝備等領(lǐng)域的創(chuàng)新發(fā)展。