產(chǎn)品中心
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產(chǎn)品中心流量計MFM330MFM氣體流量計
產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品分類
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| MFM氣體流量計產(chǎn)品特性： | ||
| ◆無可移動部件 | |||
| ◆支持多種通訊協(xié)議 | |||
| ◆容易安裝及維護(hù) | |||
| ◆高精度、高穩(wěn)定性、非常低的零漂 | |||
| ◆可測多種氣體 | |||
| ◆一體液晶顯示和按鍵操作 | |||
| ◆內(nèi)置溫度和壓力傳感器 | |||
| ◆同時顯示氣體瞬時流量和累積流量 | |||
| 應(yīng)用領(lǐng)域： | |||
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MFM氣體流量計技術(shù)參數(shù)：
| ——分析儀器 | ——干刻（RIE/DRIE） | |
| 流量規(guī)格： | 0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM 0~1、2、5、10、20、30、50SLPM | ——生物技術(shù)
| ——氣相色譜分析 |
| ——激光焊機(jī)
| ——過程自動化 | ||
| 準(zhǔn)確度： | ±0.5%F.S. | ——真空鍍膜
| ——燃料電池 |
| 重復(fù)精度： | ±0.2%F.S. |
產(chǎn)品尺寸：
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| 使用溫度： | -20~65℃ | ||
| 使用濕度： | 0~98%（?凝露） | ||
| Max耐壓： | 3MPa | ||
| 響應(yīng)時間： | <1s | ||
| 供電電壓： | 15~40VDC | ||
| 功率： | <1.2W | ||
| 通訊方式： | RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA | ||
| 氣路部件材質(zhì)： | SUS304、SUS316L | ||
| 密封件材質(zhì)： | 氟橡膠 | ||
| 氣路接頭： | 快擰、快插、卡套、VCR | ||
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外接顯示器尺寸：
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電氣連接：DB9
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產(chǎn)品造型：
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服務(wù)電話：
18168878188
蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號半導(dǎo)體智能制造創(chuàng)新港
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