MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測(cè)氣體進(jìn)入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng)，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

產(chǎn)品特點(diǎn)

精準(zhǔn)質(zhì)量流量測(cè)量/控制

快速響應(yīng)、高重復(fù)性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大：0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟(jì)有效的解決方案

主要參數(shù)

介質(zhì)要求

潔凈干燥氣體

氣體種類   98+氣體可選

量程   0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測(cè)量范圍  0.5%F.S.（1:200）

控制范圍  1%-100% FS.（1:100）

準(zhǔn)確度  ±1% F.S.

重復(fù)精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應(yīng)時(shí)間  <3 秒

預(yù)熱時(shí)間 5 min（T95），30 分鐘最佳

閥門  常閉式