產(chǎn)品中心
PRODUCTS CENTER
當(dāng)前位置：首頁
產(chǎn)品中心流量計(jì)氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM330微小流量氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)品分類
微小流量氣體質(zhì)量流量控制器MFM毛細(xì)管熱質(zhì)量流量計(jì),直接測(cè)量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。
產(chǎn)品特點(diǎn)
精準(zhǔn)質(zhì)量流量測(cè)量/控制
快速響應(yīng)、高重復(fù)性
不受溫度和壓力的影響
低壓損可選
集成顯示器可選
經(jīng)濟(jì)有效的解決方案
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
測(cè)量范圍 0.5%-100% F.S.
準(zhǔn)確度 ±0.5% F.S.
重復(fù)精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）
傳感器響應(yīng)時(shí)間 <1s
預(yù)熱時(shí)間 5 min（T95），30 分鐘最佳
掃碼加微信
服務(wù)電話：
18168878188
蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號(hào)半導(dǎo)體智能制造創(chuàng)新港
sales@aitoly.com
相關(guān)文章
上一個(gè)：
返回列表
