微小熱式氣體質量流量控制器是一家質量流量計和控制器專業(yè)研發(fā)制造商，專注于微小氣體流量精準測控。

愛拓利擁有自主知識產權的質量流量計和控制器產品，其核心部件毛細管柱式流量傳感器、層流差壓式流量傳感器、高精度微型比例閥等已實現100%自主研制，核心生產設備100%自主研制、全制程自主可控。

公司具備ISO9001質量管理和制造認證，通過標準化生產、規(guī)范化管理，愛拓利持續(xù)穩(wěn)定地為客戶提供高質量的合格產品；并根據客戶應用場景提供定制化的產品和解決方案，滿足多種需求。

產品系列：

熱式氣體質量流量計/控制器，層流差壓式氣體質量流量計/控制器

產品應用領域

半導體，光伏，光纖，FPD，真空鍍膜，新能源電池，分析儀器，生物制藥，制配氣、化工、食品、工業(yè)自動化等領域

氣體種類：90+種氣體可選

測量范圍：0.5%F.S. – 1 00% F.S. (1:200)

控制范圍;：1%F.S. – 1 00% F.S. (1:100)

準確度：     0.5% F.S.

工作壓差：0-1 MPa

耐壓：3 MPa

控制響應時間<1 s

閥門類型:常閉閥

預熱時間：5 min（T95)

量程范圍：0-2 sccm…200slpm

顯示屏：內置/外接顯示屏可選

標況:20℃（可設置）， 1atm

通訊方式：0-5Vdc, 4-20mA, RS485, RS232, CAN, EtherCat