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產(chǎn)品中心流量計(jì)氣體質(zhì)量流量計(jì)MFC330系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)品分類
MFC330系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)被測(cè)氣體進(jìn)入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出氣壓波動(dòng)， MFC330依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
精度：1 % F.S.
控制范圍：1%~100% F.S.
工作壓差范圍：0-1 MPa
量程：2 sccm-200 slm
集成顯示器可選
經(jīng)濟(jì)有效的解決方案
流量范圍:
最小值 0-2 sccm ; 最大值: 0-200 slpm
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服務(wù)電話：
18168878188
蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號(hào)半導(dǎo)體智能制造創(chuàng)新港
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