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MFC600系列層流差壓式氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，通訊方式：模擬量、RS485, RS232, CANOPEN, DeviceNet, Profibus, EtherCat。

MFC350系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，通訊方式：模擬量、RS485, RS232, CAN, Profibus, EtherCat。

MFC320系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，通訊方式：模擬量，RS485, RS232, CAN, DeviceNet, Profibus, EtherCat。

MFC330系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出氣壓波動(dòng)， MFC330依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

MFC300系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，該系列采用MEMS流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。

微小氣體質(zhì)量式流量計(jì) 是一款毛細(xì)管熱 式氣體質(zhì)量流量計(jì)，精度高，響應(yīng)速度快，穩(wěn)定性好的流量計(jì)。